CRDS微量水分計・温湿度センサ・温湿度計・露点測定

神栄テクノロジー株式会社

温湿度計測機器

Cavity Ring-Down SpectroscopyCRDS微量水分計

CRDS微量水分計は、今まで測定が困難であった微量水分領域を含めた幅広い水分領域を『高い応答性』と『高い精度』で『センサ部の経年劣化無く』測定可能です。
従来型の露点計では対応が難しかった高純度半導体用ガス製造管理や全固体電池製造工程、熱処理工業炉など、最先端技術の研究開発現場への用途拡大が期待できます。

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CRDS(Cavity Ring Down Spectroscopy)方式とは?

微量水分を最も正確に、かつ高速で測定する方法

測定ガスを満たしたキャビティの両端に高反射率ミラーを設置しレーザー光を導入します。 このレーザー光には気体中の水分子の吸収波長を使用してるため、キャビティ内の水分率に応じて吸収量が変化します。 キャビティ内に導入された光は往復することに高反射率ミラーの反射率とキャビティ内の水分率に依存して減衰します。 高反射率ミラーから漏れ出した光を受光し、減衰の様子を時定数(リングダウンタイム)として吸収スペクトルを得て、 フィッティングを行うことで水分量を測定します。

CRDS式

絶対測定法とは?

検量線が不要な直接測定方法

CRDS法以外の方式では水分量とは別の測定量を基準となる値と比較し、検量線を作成することで、測定量と水分量を紐づける必要がありました。 例えば静電容量式では、ある水分量における静電容量を測定し、その水分量を基準器と比較して、○○pFの静電容量を示す=○○ppbと値付けをします。 一方、CRDS法は他の方式とは異なり、測定する光の減衰時間の測定のみで水分量が判明する絶対測定法です。 絶対測定法では測定に必要な物理定数は全て既知であるため、測定量から直接欲しい値が算出可能で、原理的には基準器と比較する必要がありません。 加えて、光の減衰時間は入射光の光量に依存しないため、レーザーの劣化による誤差が発生しづらい特長もあります。 これらより、長期的な信頼性が非常に高く、定期的な校正の頻度が低減されるメリットがあります。

CRDS微量水分計 製品カテゴリ

  • CRDS微量水分計DewTracerシリーズ

    DewTracer mini CRDS

    CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDSは、国内メーカーとして初めて、CRDS微量水分計の開発・製品化に成功し、微量水分領域で世界最速水準の応答性を持つ製品です。

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