CRDS微量水分計 DewTracer シリーズ・温湿度計測機器・露点測定

神栄テクノロジー株式会社

温湿度計測機器

CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDS-H2O

CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDSは、国内メーカーとして初めて、CRDS方式の微量水分計の開発・製品化に成功し、微量水分領域で世界最速水準の応答性を持つ製品です。
12 ppbv ~ 20 ppmv(-100 ~ -55 ℃DP)の微量水分を測定可能です。

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性能

微量水分領域での高精度・高感度・高速応答測定を実現

mini CRDS-H2Oは12 ppbv ~ 20 ppmv(-100 ~ -55 ℃DP)の微量水分を非常に精度良く測定可能です。また、測定部(キャビティ)の小型化を実現したため、ドライガス置換時の応答性も非常に高く、15 ppbv⇔1000 ppbvの水分量変化に対して、60秒以内で応答します(90%応答)。


精度図_1

特長

①接ガス部は腐食に強く、高い長期安定性を実現

CRDS方式は構造上、センサであるレーザーやディテクターとガスが非接触であり、接ガス部にはSUSを中心とした耐薬品素材を採用しているため、 腐食性ガスにも対応可能です。また、水分吸着による電気特性変化を測定する原理とは異なり、CRDS方式は光の減衰時間から水分量が直接算出可能なため、 レーザーパワーの減少などの経年劣化に依存せず正確な測定が可能で、高い長期安定性を有しています。

②センサ部とモニタ部は分離可能(PC利用可)

センサ部とモニタ部はケーブルで接続されており、分離が可能です。 ケーブルを延長することによってセンサ部は測定現場へ設置し、モニタ部は制御室に設置することも可能です。 また、センサ部の代わりにPCを使用することも出来るため、現場に合った配置や構成を選択できます。


センサ部とモニタ部は分離可能

③新たなスペクトル解析技術により装置の小型化を実現

独自のスペクトル解析技術を用いることにより、測定部(キャビティ)の小型化に成功し、筐体自体も非常に小型となったため、 今まで不可能であった装置組込や壁面取り付けなど様々な場所で利用可能です。また、持ち運びも容易なため、スポットの測定にも対応可能です。


小型CRDS

④見やすいタッチパネルで簡単操作

モニタ部には5inchのフルカラータッチパネルが搭載されており、測定の開始・停止や設定を行うことができます。 測定画面では大きな測定値とトレンドグラフが表示され、大きなグラフと切り替えることが可能です。 また、誤動作を防止するための画面ロック機能や、機器の状態を確認する機能、設定した閾値の判定を行うアラーム機能を搭載しています。 モニタ部の代わりにPCを使用する場合は、専用ソフトウェアにて同機能を使用可能です。


操作は画面に触れるだけで直感的に、快適に使えます。

⑤筐体内の不活性ガスパージが可能

サンプルガス用ポートとは別に、センサ部の筐体内部をパージするためのポートが設けられています。 サンプルガスが可燃性や有毒性を有する危険なガスの場合には、窒素などの不活性ガスを筐体内に流しておくことで 配管からサンプルガスが漏れ出した場合でも筐体外に漏れることを防ぎます。


CRDSの背面

⑥校正証明書類の発行が可能

日本の国家計量標準を供給している国立研究開発法人産業技術総合研究所では、微量水分領域の標準を最小10ppbから供給しています。 当社のmini CRDS校正に使用している社内標準器は国家標準との計測トレーサビリティが確立されており、比較校正結果は校正書類として発行可能です。

仕様

Model

DewTracer mini CRDS-H2O

測定原理

CRDS(Cavity Ring Down Spectroscopy)方式

水分測定範囲

12 ppbv ~ 20 ppmv(-100 ~ -55 ℃DP)(in N2, 他のガスは別途)

使用環境範囲

10~40℃、35~80%rh以下(結露なきこと)

保存環境範囲

-10~40℃、35~85%rh以下(結露なきこと)

応答時間

50⇔1000 [ppbv] 変化における90 [%]応答時間 60 [sec](typ.)

サンプルガス温度範囲

5~60℃以下

サンプル流量 <2.0 L/min.
パージ流量 <5.0 L/min.
サンプルガス種別 Air, N2, O2, Arから選択
サンプル圧力 86~106 kPaA(オプションにて~900kPaAまで対応)
システム精度 ±4% または ±12 ppbの大きい方
測定値 体積モル分率 [ppmv]
計測部ガス温度 [℃]
計測部ガス圧力 [PaA]
演算値 露点/霜点温度 [℃DP]
LCD表示(モニタ部) カラーLCD(800×480 WVGA) 5 inchタッチパネル
アナログ出力(オプション) 4~20 mA
デジタル出力(オプション) RS-232C
アラーム出力(オプション) リレー接点出力
配管 サンプルガスIN-OUT:1/4 inch(フジキン製:UJR-RP)
パージガス IN-OUT: 1/4 inch(フジキン製:UJR-RP)
供給電源 付属ACアダプタ(100-240 V, 50 / 60 Hz, 1.4 Amax)
消費電力 センサ部:10 W(typ.)
モニタ部:30 W(typ.)
重量 センサ部:約5 kg(ACアダプタを除く)
モニタ部:約1.7 kg
寸法
(単位:mm)
CRDSセンサ寸法 CRDSモニタ寸法

アプリケーション例

半導体用高純度ガス製造、検査、充填工程

微量水分領域の測定でも高速で応答するため、工程の効率があがります。
また、高額なガスの消費量を軽減し、コストカットにも貢献します。

半導体用高純度ガス製造、検査、充填工程

全固体電池の研究、製造工程

非接触の測定原理のため、電池製造工程で発生する腐食性ガスが混入してもセンサ劣化が起こりません。

グローブボックス、ドライチャンバーの管理、制御に

グローブボックスやドライチャンバーは近年低露点化が進み、-70℃DP露点(2 ppmv)以下での管理が求められます。
従来の計測器では正確に制御出来なかった-70℃DP以下の制御に最適です。

グローブボックス、ドライチャンバーの管理、制御に

その他アプリケーション一覧

○半導体の研究・開発・製造工程
○医療用高純度ガスの研究・開発・製造工程
○医薬品の研究・開発・製造工程
○リチウムイオン電池(LiB)の研究・開発・製造工程
○電気二重層キャパシタ(EDLC)の研究・開発・製造工程
○有機ELの研究・開発・製造工程
○フラットパネルディスプレイの研究・開発・製造工程
○精密電子部品の防錆・結露防止
○粉体製造工程の湿度管理
○ハイバリアフィルムの検査・性能確認・性能評価
○高純度シリコン等の半導体材料製造工程

校正

アフターメンテナンス

神栄テクノロジー株式会社のCRDS微量水分計は製造から校正、修理まですべての対応を日本国内の自社工場で行っております。
当社による校正サービスで使用する作業標準器は日本国内で湿度標準を提供している産業技術総合研究所の湿度標準とトレーサビリティが確保されております。

アフターメンテナンス

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