エアロゾルセンサ・クリーンルーム・浮遊粒子計測機器

神栄テクノロジー株式会社

浮遊粒子計測機器

Aerosol Sensorエアロゾルセンサ

エアロゾルセンサは、光散乱の原理を利用しクリーンルームなど産業分野の用途に開発したセンサです。

0.5ミクロンm以上の浮遊粒子の濃度クラスをモニターすることができます。

粒子の個数を計数するのではなく、独自の考え方によるパルス出力をパーティクルカウンターと比較校正し、その相関関係を出力特性としております。

エアロゾルセンサ 製品カテゴリ

  • エアロゾルセンサAES1-05N

    AES1-05N(エアロゾルセンサユニット)

    エアロゾルセンサ単体は、粒子濃度の変化に応じてクリーンルーム関連機器の運転を制御するための組込み用途にお使いいただけます。
    0.5ミクロンm以上の浮遊粒子を高感度に安定検出します。内蔵ヒーターによる気流発生機構により空気を自己吸引しますので、吸引ポンプが不要です。

  • エアロゾルモニターAES-1000-05N

    AES-1000-05N(エアロゾルモニター)

    エアロゾルモニターは、エアロゾルセンサに表示などのインタフェースを追加した製品です。クリーン状況を確認したい場所に設置することで、現在のクリーン度(Class相当値)を表示で確認でき、警報設定も可能です。
    また、イーサネット出力により既設のLANをそのまま使ったネットワーク構築が可能です。0.5ミクロンm以上の浮遊粒子を高感度に安定検出し、清浄度クラス相当値(クラス100相当から100,000相当まで)を10段階表示します。