エアロゾルセンサユニット・クリーンルーム・粒子計測機器

エアロゾルセンサユニット（パーティクルセンサ）
Aerosol Sensor Unit AES1-05N(0.5μm計測モデル)

エアロゾルセンサ（パーティクルセンサ）は、光散乱の原理を利用し、クリーンルームなど産業分野の用途に開発したセンサです。

0.5µm以上の浮遊粒子を高感度に安定検出し、濃度クラスをモニターすることができます。
内蔵ヒーターによる気流発生機構により空気を自己吸引しますので、吸引ポンプが不要です。

粒子の個数を計数するのではなく、独自の考え方によるパルス出力をパーティクルカウンターと比較校正し、その相関関係を出力特性としております。
エアロゾルセンサ単体は、粒子濃度の変化に応じてクリーンルーム関連機器の運転を制御するための組込み用途にお使いいただけます。