エアロゾルセンサユニット・クリーンルーム・浮遊粒子計測機器

神栄テクノロジー株式会社

浮遊粒子計測機器

エアロゾルセンサユニット(パーティクルセンサ)

Aerosol Sensor Unit

AES1-05N

エアロゾルセンサ(パーティクルセンサ)は、光散乱の原理を利用し、クリーンルームなど産業分野の用途に開発したセンサです。

0.5µm以上の浮遊粒子を高感度に安定検出し、濃度クラスをモニターすることができます。
内蔵ヒーターによる気流発生機構により空気を自己吸引しますので、吸引ポンプが不要です。

粒子の個数を計数するのではなく、独自の考え方によるパルス出力をパーティクルカウンターと比較校正し、その相関関係を出力特性としております。
エアロゾルセンサ単体は、粒子濃度の変化に応じてクリーンルーム関連機器の運転を制御するための組込み用途にお使いいただけます。

特長

  • 0.5µm以上の浮遊粒子を高感度に安定検出します

  • 内蔵ヒーターによる気流発生機構により空気を自己吸引しますので、吸引ポンプが不要

  • 発光部は連続通電20,000時間の長寿命設計

  • 小型、軽量で取付が容易。低価格

仕様

Model AES1-05N
光源 半導体レーザー
光源寿命 20,000時間
光学系方式 散乱光方式
サンプリング方式 内蔵ヒーターによる上昇気流。毎分0.1L相当のサンプリング
対象粒子サイズ 0.5µm以上
測定濃度範囲 100個~100,000個/1cf 相当
使用周囲環境 1kHz パルス出力
電源電圧 DC12V ±10%
寸法 90 × 90 × 23mm
重量 120g

用途

クリーンブース、ファンフィルターユニット(FFU)、クリーンユニットなどクリーンルーム関連機器 等