パーティクルセンシングモニター、パーティクルセンサユニット/クリーンルーム・粒子計測機器

神栄テクノロジー株式会社

粒子計測機器

AES-FPシリーズパーティクルセンシングモニター
パーティクルセンサユニット

パーティクルセンシングモニター (パーティクルセンサ) AES-FPM、パーティクルセンサユニット

クリーンルームやクリーンブース、半導体・フィルム・食品の製造工程、印刷工程、病院施設などの清浄度管理を求める環境で、0.3μm(もしくは0.5μm)以上の粒子の常時監視が可能なモニターです。
クラス(Class)値で浮遊粒子の見える化に対応し、HACCP管理にも役立ちます。センサユニットは、生産装置等への組み込み用途にも適したコンパクト設計で、狭小スペースへの設置が可能です。

パーティクルセンシングモニターと、センサユニットの分離脱着が可能。
予備のセンサユニットを使用することで、校正期間中も継続し測定が可能に。

  • 低価格を追求した
    浮遊粒子計測が
    可能なモニター

  • 清浄度クラス
    1,000~100,000を
    4段階のLEDで表示

  • 0.3μm(もしくは0.5μm)と数μm*以上の粒子数を出力(*参考値)

  • 用途に合わせて、
    出力仕様の違う5モデルを
    ラインナップ

  • パーティクルセンシングモニターとセンサユニットの分離脱着が可能

  • オプションで
    温湿度センサの
    搭載が可能

設置例

設置例

用途・採用例

半導体部品や食品の工場内、病院環境の清浄度管理に

半導体部品や食品の工場内、病院環境の清浄度管理に
  • 問題

    製造装置毎の自動計測ができれば製品品質と作業効率向上が期待できる。

  • 計測

    製造装置毎にパーティクルセンシングモニターを設置し、粒子発生頻度を常時モニタリング!

  • 改善

    歩留まり、品質、作業効率が改善できた!

クリーンルームの空調自動制御に

クリーンルームの空調自動制御に
  • 問題

    広いクリーンルーム内、本当に清浄度は保持されているのだろうか?目に見えない菌やホコリはどうなっているのだろう?

  • 計測

    パーティクルセンシングモニターを複数拠点に設置し、一括管理かつ常時モニタリング!

  • 改善

    粒子分布が判明。重点的な清浄化対策をとることができた!

電気室や、データセンターのサーバールームに

電気室や、データセンターのサーバールームに
  • 問題

    精密機器の多い電気室(電源装置保管場所)、室内環境管理不足による故障は避けたい。

  • 計測

    パーティクルセンシングモニターで粒子発生有無を常時モニタリング!

  • 改善

    粒子発生の見える化で清掃頻度の管理が出来た!

クリーンブースやクリーンベンチのフィルター破損時の警報用に

クリーンブースやクリーンベンチのフィルター破損時の警報用に
  • 問題

    クリーンベンチのフィルターが作業中に破損していたらどうしよう?

  • 計測

    パーティクルセンシングモニターで粒子発生有無を常時モニタリング!

  • 改善

    フィルター破損を検知して、作業ロスを減らすことができた!

半導体・精密部品の製造品質向上に

半導体・精密部品の製造品質向上に
  • 問題

    異物付着による製品不良とロスコストがなかなか減らなかった。

  • 計測

    重点管理点の常時監視用にパーティクルセンシングモニターを設置!

  • 改善

    特定作業時に異物の発生頻度が高いことが判明し、不良数が激減!

空調システムオフ時の状態監視に

空調システムオフ時の状態監視に
  • 問題

    夜間空調を停止していたが、翌朝再起動時の清浄度回復までどれくらいかかるだろう?

  • 計測

    空調システム再起動時にパーティクルセンシングモニターの電源ON!

  • 改善

    清浄度の見える化により、始業時に安心して作業できるようになった!

共通仕様

  センシングモニター センサユニット
型名(0.3μm計測モデル):
型名(0.5μm計測モデル):
FPM-1
FPM-51
FPM-2
FPM-52
FPM-3
FPM-53
FPM-4
FPM-54
FPS
FPS-5
光源 レーザーダイオード
測定範囲 Class1,000 ~ Class100,000(注1)
出力単位 pcs/m3(デフォルト), pcs/cf, pcs/L(注2)
データ更新時間 1秒
電源電圧 +12 ~ +24V(注3)
消費電流(最大) +600mA +200mA
動作温度 0 ~ +40℃
保存温度 -20 ~ +60℃
動作湿度 30 ~ 80%rh
保存湿度 90%rh 以下
濃度出力 LEDレベル表示 -
Reference表示 -
アナログ出力
(1-5V)
- - - -
デジタル通信
(インタフェース)
-
(Ethernet)
-
(Ethernet) (Wi-Fi)

(RS485)
アラーム出力 -
温湿度計測機能(注4) - - -
重量 約210g 約65g
適合電線サイズ AWG26~20
  • (注1)Class1,000は参考値になります。
  • (注2)FPM-2/52/4/54のみ可変で取得可能です。数μm以上の単位は[pcs/min]で固定です。
  • (注3)専用ACアダプタは、別売でオプション扱いです。
  • (注4)別売の専用温湿度センサ(型番:CHU-L151-11A-AES)が必要です。

AES-FPM-□ & AES-FPS(0.3μm計測モデル)専用仕様

  センシングモニター センサユニット
型名:AES-□□□-□ FPM-1 FPM-2 FPM-3 FPM-4 FPS
粒子径 0.3μm以上 / 数μm以上(参考値)
データ出力値 60秒平均値

AES-FPM-5 & AES-FPS-5(0.5μm計測モデル)専用仕様

  センシングモニター センサユニット
型名:AES-□□□-5□ FPM-51 FPM-52 FPM-53 FPM-54 FPS-5
粒子径 0.5μm以上 / 数μm以上(参考値)
データ出力値 300秒平均値